2025年5月22日、上海技術交流会は、科学技術成果評価の基準と手順に従い、関連する技術分野と産業の5人の専門家パネルを組織し、上海KANSA冷凍設備有限公司が開発した高精度温度および流量制御チラーインテリジェントモニタリングシステムの現地評価を実施しました。

 

技術対話、イノベーションのブレークスルー

特別報告会で、KANSA REFRIGERATIONの技術チームは、「イノベーション駆動型でインテリジェントなエンパワーメント」をメインラインとして、高精度温度制御ユニットの科学技術的成果のコアバリューを体系的に提示しました。

 

0 1業界の痛点を突破する

半導体製造業の需要が高まるにつれて、温度制御の精度と信頼性はますます厳しくなっています。リソグラフィーやエッチングなどのコアプロセスは、±0.1°Cの温度変動に特に敏感であり、それがチップの品質や生産コストに直接影響を与えます。

従来の温度制御装置は、低精度、遅い応答、高いエネルギー消費などの問題に直面しています。半導体製造の高精度要件を満たし、正確な調整と動的最適化を実現することができません。高級温度制御装置は輸入に依存しており、これは高価でリスクがあります。したがって、国内の高精度温度制御ユニットの交換は、産業の主要な需要です。

 

0 2独立したイノベーションのブレークスルー

モンテカルロシミュレーションと適応型ファジーPID複合制御システムに基づく信頼性モデリングと予知保全システムは、すべての作業条件下で±0.0 5℃の超精密温度制御を実現します。

 

0 3プロジェクトの進展

温度制御精度は、すべての面で同等の製品を上回り、高い動的負荷シナリオ下での精密温度制御技術のギャップを埋め、国際的な先進レベルに達しています。

 

第4章市場アプリケーションの展望

それは半導体、バイオメディカル、および実験室の精密製造などの高級分野に成功裏に役立っています。

 

 

Seeing is believingハードコア検証

理論的なデータは実際にテストする必要があります!その後、専門家レビューチームはKANSA REFRIGERATIONスマートファクトリーを訪問し、フィールドトリップを行いました。

 

0 1コア機器

 

0 2プロセス制御

フィン付きコンデンサーは完全自動の管拡張技術を採用し、熱交換効率は業界標準の1.2倍です。

 

0 3システムデモンストレーション

当社の技術者は、現場で高精度の温度制御ユニットの温度制御精度を実証しました。目標温度は現場で26.00℃に設定され、インテリジェントなモニタリング画面が実際立ってジャンプしました: 26.0 3℃→26.0 1℃→26.0 0℃

装置が5分間動作した後、パネル表示と温度曲線は設定値の±0.0 5℃の範囲内で常に安定しています。

 

 

プロフェッショナル評価:認識と結論

会議のレビューフェーズ中、専門家グループは3つの次元から結論を出しました。

 

0 1技術イノベーション

高精度の温度および流量制御チラーのインテリジェントモニタリングシステムは、-40℃から110℃までの広い温度範囲制御を実現します。

 

0 2テクノロジーの成熟度

高精度な温度制御技術を開発し、あらゆる使用条件下で±0.0 5℃の温度制御精度を実現しました。

 

0 3アプリケーションの利点

ファジィ制御の柔軟性とPID（1〜30 L/min）±0.1 L/minの精度を組み合わせた高精度な流量制御方法を開発しました。

専門家委員会は、プロジェクトの成果の全体的な技術レベルが国内のトップレベルと国際的な先進レベルに達していると考えており、プロジェクトが科学技術成果評価を通過したことに同意しています。